4J29封接工藝介紹:
封接原理:通過與4J29可伐合金表面的氧化物與玻璃互溶而緊密結(jié)合在一起的,所以可伐合金的預氧化是金屬外殼制造的一個非常重要的工藝環(huán)節(jié),是直接影響氣密封接的一個重要因素.為實現(xiàn)氣密封接, 4J29可伐合金預氧化需要得到的氧化物應是Fe3O4和FeO. 4J29合金的氧化主要是鐵的氧化物,即從內(nèi)到外依次是FeO,Fe3O4,Fe2O3,其中FeO,Fe3O4 的結(jié)構(gòu)致密并且與玻璃和金屬的結(jié)合緊密,能使封接致密,F(xiàn)e2O3的結(jié)構(gòu)松散,粘附性差,封接后容易漏氣。另一方面氧化膜的厚度也是關鍵的要素,過薄或過厚都會影響密封性能。氧化膜的厚度要控制在一定的范圍內(nèi);氧化膜過薄則氧化物完全溶于玻璃,造成玻璃與金屬基體表面的直接封接,使封接強度下降;氧化膜過厚則造成金屬表面氧化物較粗糙疏松,封接件容易漏氣。
熱處理方法1:A℃的真空條件下,保溫10-30分鐘,再經(jīng)過A℃的可控氣氛中保溫2.5-5分鐘后,*后與玻璃坯封接-熔封-浸潤融合。(A值 請來電詢)
氣密封接的方法: 直插式引線使內(nèi)部元件與外部連接在一起
封接過程:脫炭---預氧化----熔封
脫炭主要是除去可伐合金中的氣體,降低含碳量
預氧化主要是在可伐合金表面形成所需要的氧化膜(下面重點介紹)
熔封主要是使氧化膜與玻璃熔合。
預氧化方案介紹:
1.環(huán)境的氧分壓要控制在10-7atm以下,環(huán)境的氫分壓與水分壓的比要控制在0.000048以上,這可以通過在水蒸氣中進行氧化或在以氮、氬等惰性氣氛為載氣,調(diào)整載氣中氫與水(即露點)的比的可控氣氛中進行氧化來實現(xiàn)。氧化工藝可以是800℃×17min、900℃×3min、1000℃×lmin或是1100℃×15s。在氧化膜的增重處于0.3-0.7mg/cm2時,氣密性和抗拉強度*佳。
4J29可伐合金在空氣中900℃加熱5分鐘,合金表面氧化膜的主要成分為Fe2O3,其次是CoO和NiO。應該注意避免。
2.4J29可伐合金在水蒸氣中的氧化
在A℃水蒸氣中對可伐合金氧化10-60分鐘,然后在13.3322Pa-133.322Pa空氣中冷卻。(由于在570℃以下氧化并不能形成FeO,而在水蒸氣中環(huán)境氧分壓非常低,也不能生成Fe2O3,故可伐合金表面只獲得單一的Fe3O4氧化膜)。
3.在分壓為1.09×10-9Pa,溫度為A℃的水蒸氣中加熱22分鐘。(氧化時間小于100分鐘,表面的氧化物只有**的Fe3O4,,氧化物的特點是與玻璃結(jié)頭中SiO2和B2O3反應的化學活性*大,與基體之間充分粘著,具有高的結(jié)構(gòu)均勻性、耐蝕性和與可伐相同的線膨脹系數(shù) )
4.N2-H2O-H2三元氣氛預氧化: 在N2、H2O和H2混合氣氛中的預氧化
優(yōu)點:更容易控制預氧化的質(zhì)量
H2:含量是0.5%-2%。
H2O是一種容易控制的氧化性介質(zhì),它能使4J29可伐合金在表面上生成一層附著性好且均勻的氧化物。加入H2是為了防止空氣泄露爐內(nèi),它可與氧結(jié)合成水。
方法: 在N2-1%H2O-0.4%H2的氣氛下、1000℃、加熱10分鐘。
這種條件下生成的氧化膜非常均勻且附著良好,厚度大約是1μm,晶界氧化物穿透深度約為4μm。4J29可伐在這種氣氛下進行氧化,速度較快,氧化膜生長重現(xiàn)性非常好,完全可與空氣氣氛相比較。生長的氧化物甚至在1000℃的溫度下也有良好的附著性。
4J29(kovar,可伐合金,科瓦合金,ASTM F-15)
產(chǎn)品表面覆蓋薄膜精包裝: